发明名称 |
METHOD FOR SAMPLING TRANSIENT WAVEFORM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02122257(A) |
申请公布日期 |
1990.05.09 |
申请号 |
JP19880276689 |
申请日期 |
1988.11.01 |
申请人 |
HORIBA LTD |
发明人 |
MATSUDA KOICHIRO;YOKOYAMA KAZUNARI;TANAKA HIKARI;YOSHIOKA SEIICHIRO;HARA KIYOAKI |
分类号 |
G01N27/60;G01R13/20;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N27/60 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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