发明名称 METHOD FOR SAMPLING TRANSIENT WAVEFORM
摘要
申请公布号 JPH02122257(A) 申请公布日期 1990.05.09
申请号 JP19880276689 申请日期 1988.11.01
申请人 HORIBA LTD 发明人 MATSUDA KOICHIRO;YOKOYAMA KAZUNARI;TANAKA HIKARI;YOSHIOKA SEIICHIRO;HARA KIYOAKI
分类号 G01N27/60;G01R13/20;H01L21/66 主分类号 G01N27/60
代理机构 代理人
主权项
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