在气态环境中使用的改进型电子探测器

摘要

环境扫描电子显微镜的改进型气态探测器装置。该装置的电极几何结构能分离样品表面发出的各种信号。其第一电子探测器与压强限制孔整体形成收集放大的低能二次电子信号。位于压强限制孔稍下方的环状电极组件包括一个细环形成的收集放大的低能二次电子信号的内层电子探测器。及位于其外面的中间电子探测器以收集放大的高能背散射相关信号；还包括位于中间探测器之外的外层电子探测器，以收集放大的低能背散射相关信号。

主权项

1、一种改进的环境扫描电子显微镜，包括： (a)产生电子束并引导电子束射向样品的装置； (b)探测从样品表面发射出的信号装置；所述探测装置包括一个基本是环状的电极组件，该电极组件具有一个细环形成的内层电子探测器，一个沿半径方向位于所述内层电子探测器之外的中间电子探测器，它由第一组同心的弧状部件构成，以及一个沿半径方向位于所述中间电子探测器之外的外层电子探测器，它由第二组同心的弧状部件构成，为得到定向的外表对比度，所述第一组同心的弧状部件和所述第二组同心的弧状部件基本是正交的，所述内层，中层和外层电子探测器基本位于同一水平面上： (c)分别对所述内层，中间和外层电子探测器加初始相同电势能偏压的装置。