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发明名称 System for manufacturing semiconductor under clean condition
摘要
申请公布号 US4923352(A) 申请公布日期 1990.05.08
申请号 US19880291757 申请日期 1988.12.29
申请人 NMB SEMICONDUCTOR KK 发明人 TAMURA, TAKUMI;SHINODA, SHOSUKE;YAMASHITA, TETSUO;OKASHITA, KYOHIKO
分类号 B23Q41/00;B25J19/00;B25J21/00;F24F7/06;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/677 主分类号 B23Q41/00
代理机构 代理人
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