发明名称 |
SEMI-INSULATING GALLIUM ARSENIDE SINGLE CRYSTAL AND PRODUCTION THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02120298(A) |
申请公布日期 |
1990.05.08 |
申请号 |
JP19880274238 |
申请日期 |
1988.10.28 |
申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
SAGAWA TOSHIO;KURATA KAZUHIRO;NOGUCHI MASAHIRO;KAMOSHITA TOSHIKAZU |
分类号 |
C30B19/00;C30B29/42;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B19/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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