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发明名称
Sealing apparatus for a vacuum processing system
摘要
申请公布号
US4923584(A)
申请公布日期
1990.05.08
申请号
US19880264592
申请日期
1988.10.31
申请人
EATON CORPORATION
发明人
BRAMHALL, JR., ROBERT B.;CLOUTIER, RICHARD M.;LABER, ALBERT P.;MUKA, RICHARD S.
分类号
C23C14/56;H01L21/00;H01L21/203;H01L21/677;H01L21/687
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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