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发明名称 SYSTEM FOR CONTROLLING THE PROCESS OF HEATING IN DIFFUSIONAL FORMATION OF MULTILAYER SEMICONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号 SU1562892(A1) 申请公布日期 1990.05.07
申请号 SU19884376225 申请日期 1988.02.08
申请人 ZAPOROZHSKIJ INDUSTRIALNYJ INSTITUT 发明人 ZINCHENKO YURIJ M,SU;GRANKOVSKIJ VADIM I,SU;MINAKOV NIKOLAJ S,SU;PADALKO ANATOLIJ V,SU;SERGEEV VALENTIN V,SU
分类号 G05D23/19 主分类号 G05D23/19
代理机构 代理人
主权项
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