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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02119238(A) 申请公布日期 1990.05.07
申请号 JP19880273431 申请日期 1988.10.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMAMOTO SHINICHI;NAKAO ICHIRO;KUBOTA MASABUMI
分类号 H01L21/764;H01L21/31;H01L21/76 主分类号 H01L21/764
代理机构 代理人
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