| 发明名称 |
PROCESSING SEMICONDUCTOR CRYSTAL AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02119195(A) |
申请公布日期 |
1990.05.07 |
| 申请号 |
JP19880270716 |
申请日期 |
1988.10.28 |
| 申请人 |
HIKARI GIJUTSU KENKYU KAIHATSU KK |
发明人 |
ITO KAZUHIRO;NAKAMURA HITOSHI |
| 分类号 |
H01L21/20;H01S5/00;H01S5/042 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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