EINRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINER HOMOGENEN GASSTROEMUNG IN EINER PLASMA-KAMMER.,申请号DE19863669951-传众专利搜索

发明名称	EINRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINER HOMOGENEN GASSTROEMUNG IN EINER PLASMA-KAMMER.
摘要
申请公布号	DE3669951(D1)	申请公布日期	1990.05.03
申请号	DE19863669951	申请日期	1986.01.07
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	LO, JOHN CHOUNG-LIN;LU, NENG-HSING, ENDWELL NEW YORK 13760, US
分类号	H05H1/46;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05K3/00;(IPC1-7):H01J37/32;C23C14/34;C23C16/50	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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