发明名称 FREMGANGSM TE TIL AVSETNING AV ET EPITAKSIALT LAG ALVLEDERMATERIALE P ET SUBSTRAT.
摘要
申请公布号 NO163292(C) 申请公布日期 1990.05.02
申请号 NO19840004811 申请日期 1984.12.03
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人 PARSONS JAMES D
分类号 C30B;C30B25/02;H01L21/205;H01L29/207;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C30B
代理机构 代理人
主权项
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