| 发明名称 |
PRECISION MOVING MECHANISM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0166499(B1) |
申请公布日期 |
1990.05.02 |
| 申请号 |
EP19850301092 |
申请日期 |
1985.02.19 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
TANAKA, KUNIYOSHI C/O PATENT DIVISION K.K. TOSHIBA |
| 分类号 |
H02N2/00;H01J37/20;H01L21/68;H01L41/09 |
主分类号 |
H02N2/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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