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发明名称 VAPOR DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号 GB9004848(D0) 申请公布日期 1990.05.02
申请号 GB19900004848 申请日期 1990.03.05
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人
分类号 C23C16/54;H01L21/677 主分类号 C23C16/54
代理机构 代理人
主权项
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