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发明名称 PROBE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02118458(A) 申请公布日期 1990.05.02
申请号 JP19880145065 申请日期 1988.06.13
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KAWAMURA SHIGERU;IKEDA TORU
分类号 G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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