| 发明名称 |
METHOD OF MAKING A SELF-ALIGNED METALLIC CONTACT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0237826(A3) |
申请公布日期 |
1990.05.02 |
| 申请号 |
EP19870102395 |
申请日期 |
1987.02.19 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
WILLER, JOSEF, DR. |
| 分类号 |
H01L29/417;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/28;H01L29/76 |
主分类号 |
H01L29/417 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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