| 发明名称 |
GEFOCUSSEERDE IONENBUNDELKOLOM. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL8902450(A) |
申请公布日期 |
1990.05.01 |
| 申请号 |
NL19890002450 |
申请日期 |
1989.10.03 |
| 申请人 |
MICROBEAM INC. TE NEWBURY PARK, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/252;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/252 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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