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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02117154(A) 申请公布日期 1990.05.01
申请号 JP19880271251 申请日期 1988.10.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KATSURA TOSHIHIKO;ABE MASAYASU;MASE KOICHI
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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