发明名称 VERTICAL TURBOMOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 SU1560813(A1) 申请公布日期 1990.04.30
申请号 SU19884369835 申请日期 1988.01.28
申请人 BAKHTEREV BORIS K,SU;OVCHINNIKOV VLADIMIR,SU;PULDAS GENNADIJ A,SU 发明人 BAKHTEREV BORIS K,SU;OVCHINNIKOV VLADIMIR I,SU;PULDAS GENNADIJ A,SU
分类号 F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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