| 发明名称 |
DISPOSITIF D'AMENEE ET DE DERIVATION DE GAZ POUR LE TRAITEMENT EN PHASE GAZEUSE DE PIECES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2631164(B3) |
申请公布日期 |
1990.04.27 |
| 申请号 |
FR19890005397 |
申请日期 |
1989.04.24 |
| 申请人 |
ELEKTROMAT DRESDEN |
发明人 |
MENZEL SIEGFRIED;PAUL WOLFRAM;MOELLER RAINER;RESCH DIETMAR;ELSNER IRIS |
| 分类号 |
B01J4/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/223;H01L21/36;H01L21/383 |
主分类号 |
B01J4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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