| 发明名称 |
POSITIVE TYPE PHOTORESIST COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02115848(A) |
申请公布日期 |
1990.04.27 |
| 申请号 |
JP19880270114 |
申请日期 |
1988.10.26 |
| 申请人 |
CHISSO CORP |
发明人 |
MASAKI YOSHINORI;MAEHARA HIROSHI;YOSHIZAWA SATORU |
| 分类号 |
G03F7/023;C08G8/00;C08G8/10 |
主分类号 |
G03F7/023 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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