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发明名称 SISTEMA DI RILEVAMENTO DELLA PRESENZA DI GAS TOSSICI IN UN APPARECCHIOPER LA PRODUZIONE DI DISPOSITIVI A SEMICONDUTTURE
摘要
申请公布号 IT9021088(V0) 申请公布日期 1990.04.27
申请号 IT19900021088U 申请日期 1990.04.27
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS SRL 发明人 MINOTTI CARLO;MAZZEO CARMELO
分类号 G08B;(IPC1-7):G08B/ 主分类号 G08B
代理机构 代理人
主权项
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