发明名称 DISPOSITIF DE BALAYAGE DE TRAME A LASER COMPORTANT UN DISPOSITIF PASSIF DE POURSUITE DE FACETTE
摘要 <P>Un nouveau dispositif 10 de balayage de trame à laser qui balaie, en réponse à des signaux de commande provenant d'un dispositif de commande 20 un faisceau 14 d'exposition sur un substrat au moyen d'un miroir polygonal tournant 28 possédant plusieurs facettes réfléchissantes, réalise une poursuite passive de facettes, au moyen de plusieurs fenêtres en verre 48 configurées avec le miroir polygonal pour coopérer avec des facettes correspondantes parmi les facettes réfléchissantes. Un premier mécanisme 42 d'orientation de faisceau amène le faisceau laser 14 selon un axe incident 68 vers une fenêtre 48 sur une première surface de celle-ci. Un deuxième mécanisme 50 d'orientation de faisceau reçoit ledit faisceau laser 14 depuis une deuxième surface opposée de fenêtre et envoie un faisceau lumineux vers la facette réfléchissante correspondante. Chaque fenêtre 48 est positionnée pour déplacer le faisceau laser 14 à partir dudit axe incident 68 de façon à produire un déplacement correspondant 76 dudit faisceau lumineux incident sur la facette dans le sens de la rotation du miroir.</P>
申请公布号 FR2638244(A1) 申请公布日期 1990.04.27
申请号 FR19890013676 申请日期 1989.10.19
申请人 GERBER SCIENTIFIC INSTRUMENT CY 发明人 RONALD J. STRAAYER
分类号 B41J2/44;G02B26/12 主分类号 B41J2/44
代理机构 代理人
主权项
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