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发明名称 POSITIV-FOTORESISTS MIT ERHOEHTER THERMISCHER STABILITAET
摘要
申请公布号 DE3835737(A1) 申请公布日期 1990.04.26
申请号 DE19883835737 申请日期 1988.10.20
申请人 CIBA-GEIGY AG, BASEL, CH 发明人 BARTMANN, EKKEHARD, DR., 6196 ERZHAUSEN, DE;SCHULZ, REINHARD, DR., 6107 REINHEIM, DE;MUENZEL, HORST, DR., 6100 DARMSTADT, DE
分类号 G03F7/004;G03F7/022;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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