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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02113528(A) 申请公布日期 1990.04.25
申请号 JP19880266411 申请日期 1988.10.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NIIKURA IKUO
分类号 H01L21/314 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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