发明名称 RESIST
摘要
申请公布号 JPH02113248(A) 申请公布日期 1990.04.25
申请号 JP19880267386 申请日期 1988.10.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUJITA KOICHIRO
分类号 G03F7/004;G03F9/00 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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