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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02113548(A)
申请公布日期
1990.04.25
申请号
JP19880266487
申请日期
1988.10.21
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YAMAGUCHI TAKEHISA;SHIMIZU MASAHIRO
分类号
H01L21/76;H01L21/3205;H01L29/78
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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