发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02113562(A) 申请公布日期 1990.04.25
申请号 JP19880266047 申请日期 1988.10.24
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 NISHIUMA MASAHIKO;TSUBOI TOSHIHIRO;HONDA ATSUSHI
分类号 H01L23/473 主分类号 H01L23/473
代理机构 代理人
主权项
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