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发明名称 LEAD INSPECTING INSTRUMENT
摘要
申请公布号 JPH02112712(A) 申请公布日期 1990.04.25
申请号 JP19880263916 申请日期 1988.10.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 OBATA OSAMU
分类号 G01B11/24;H01L21/66 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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