发明名称 MEASURING PATTERN FOR MOS TYPE TRANSISTOR CONSTANT
摘要
申请公布号 JPH02112702(A) 申请公布日期 1990.04.25
申请号 JP19880265571 申请日期 1988.10.21
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 INO MASAYOSHI
分类号 G01B7/02;H01L21/66;H01L29/78 主分类号 G01B7/02
代理机构 代理人
主权项
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