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发明名称 METHOD FOR PURIFYING NITROGEN TRIFLUORIDE GAS
摘要
申请公布号 CA2001304(A1) 申请公布日期 1990.04.25
申请号 CA19892001304 申请日期 1989.10.24
申请人 MITSUI TOATSU CHEMICALS, INC. 发明人 ARITSUKA, MAKOTO;IWANAGA, NARUYUKI
分类号 C01B21/083;(IPC1-7):C01B21/083 主分类号 C01B21/083
代理机构 代理人
主权项
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