发明名称 METHOD FOR DEPOSITING A METAL ONTO A SILICON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02111867(A) 申请公布日期 1990.04.24
申请号 JP19890172836 申请日期 1989.07.04
申请人 L'AIR LIQUIDE 发明人 HIRASE IKUO
分类号 C23C14/02;C23C14/18;C23C16/02;C23C16/06;C23C16/24;H01L21/285;H01L21/306 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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