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发明名称
METHOD FOR DEPOSITING A METAL ONTO A SILICON SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH02111867(A)
申请公布日期
1990.04.24
申请号
JP19890172836
申请日期
1989.07.04
申请人
L'AIR LIQUIDE
发明人
HIRASE IKUO
分类号
C23C14/02;C23C14/18;C23C16/02;C23C16/06;C23C16/24;H01L21/285;H01L21/306
主分类号
C23C14/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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