| 发明名称 |
MEASURING DEVICE FOR FILM COMPONENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02111879(A) |
申请公布日期 |
1990.04.24 |
| 申请号 |
JP19880263618 |
申请日期 |
1988.10.19 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
UEMATSU TAKESHI |
| 分类号 |
G01N5/04;C23C14/54;H01L21/203;H01L21/66;H01L39/24;H01L41/08 |
主分类号 |
G01N5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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