发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02110921(A) 申请公布日期 1990.04.24
申请号 JP19880095878 申请日期 1988.04.19
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKADA TADAYOSHI
分类号 H01L21/223;H01L21/74 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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