发明名称 BAKING APPARATUS FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02111013(A) 申请公布日期 1990.04.24
申请号 JP19880264349 申请日期 1988.10.20
申请人 TERU KYUSHU KK 发明人 NAKAJIMA SATOSHI
分类号 H01L21/31;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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