发明名称 SEMICONDUCTOR VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02111014(A) 申请公布日期 1990.04.24
申请号 JP19880264624 申请日期 1988.10.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 URANO MAKOTO;KISHI YUTAKA
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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