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发明名称 VACUUM PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02111887(A) 申请公布日期 1990.04.24
申请号 JP19880265061 申请日期 1988.10.19
申请人 ULVAC CORP 发明人 MORI KATSUHIKO;SHIMIZU AKIRA
分类号 C23G5/00;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23G5/00
代理机构 代理人
主权项
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