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发明名称 INDUCTION PLASMA APPLICATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02112200(A) 申请公布日期 1990.04.24
申请号 JP19880263632 申请日期 1988.10.19
申请人 JEOL LTD 发明人 AMANO TAKANOBU;KOMAKI HISASHI;HIRAKAWA YOSHIHARU
分类号 H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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