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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02111021(A)
申请公布日期
1990.04.24
申请号
JP19880265064
申请日期
1988.10.20
申请人
NEC KANSAI LTD
发明人
ASADA KUNIHIKO
分类号
H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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