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发明名称 MOLECULAR BEAM CRYSTAL GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02111692(A) 申请公布日期 1990.04.24
申请号 JP19880262477 申请日期 1988.10.18
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 KIMURA KOZO;TAKAGISHI SHIGENORI
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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