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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02109360(A) 申请公布日期 1990.04.23
申请号 JP19880260617 申请日期 1988.10.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 KUSANO CHUSHIRO;MITANI KATSUHIKO;MASUDA HIROSHI;MIZUTA HIROSHI;TAGAMI TOMONORI;TAKAHASHI SUSUMU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L27/06;H01L27/095;H01L29/205;H01L29/737 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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