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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02109349(A) 申请公布日期 1990.04.23
申请号 JP19880260589 申请日期 1988.10.18
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD;MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD 发明人 YONEKAWA KIYOTAKA;HONDA YOSHIHIRO
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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