VAPOR PHASE GROWING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR THIN FILM,申请号JP19880260374-传众专利搜索

发明名称	VAPOR PHASE GROWING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH02109321(A)	申请公布日期	1990.04.23
申请号	JP19880260374	申请日期	1988.10.18
申请人	FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE	发明人	IKEDA MASAKIYO;KOJIMA SEIJI;YOTSUYA KAZUO
分类号	C30B25/14;H01L21/205	主分类号	C30B25/14
代理机构		代理人
主权项
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