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发明名称 ION BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02109240(A) 申请公布日期 1990.04.20
申请号 JP19880261209 申请日期 1988.10.17
申请人 SONY CORP 发明人 KONISHI MORIKAZU;TAKIZAWA MASAAKI
分类号 H01J37/08;H01J27/02;H01J27/26;H01J37/18;H01J37/317 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
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