| 摘要 |
<P>Réacteur d'épitaxie du type muni d'un support planétaire de plaquettes semi-conductrices. A la périphérie de ce support planétaire 4 est disposée une cloison 17 de répartition de gaz munie de trous 12 régulièrement répartis.</P><P>Selon l'invention, cette cloison est faite de deux cylindres ou quasi-cylindres, un cylindre supérieur 17 et un cylindre inférieur 3 coulissant l'un dans l'autre, et qui sont des parties d'un même conduit ayant la forme d'un couloir 16 entourant le plateau, les autres parties 18 de ce conduit agissant comme un ressort qui tend à faire monter le cylindre supérieur 17 par rapport au cylindre inférieur 3 appuyé sur le plateau.</P>
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