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VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES VOELLIG SELBSTJUSTIERTEN FELDEFFEKTTRANSISTORS.
摘要
申请公布号
DE3576610(D1)
申请公布日期
1990.04.19
申请号
DE19853576610
申请日期
1985.12.06
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US
发明人
GRAF, DR., VOLKER, CH-8832 WOLLERAU, CH;OOSENBRUG, ALBERTUS, CH-8135 LANGNAU AM ALBIS, CH
分类号
H01L29/812;H01L21/336;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
H01L29/812
代理机构
代理人
主权项
地址
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