发明名称 ANORDNUNG ZUR PRUEFUNG EINES CHIPS IN SEINER GESAMTHEIT.
摘要
申请公布号 DE3669594(D1) 申请公布日期 1990.04.19
申请号 DE19863669594 申请日期 1986.07.29
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BEHA, JOHANNES GEORGE, CH-8820 WADENSWIL, CH;KASH, JEFFREY ALAN, PLEASANTVILLE NEW YORK 10570, US;DREYFUS, RUSSELL WARREN, MT KISCO NEW YORK 10549, US;RUBLOFF, GARY WAYNE, KATONAH NEW YORK 10536, US
分类号 H01L21/66;G01R31/26;G01R31/265;G01R31/302;G01R31/308;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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