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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02106971(A) 申请公布日期 1990.04.19
申请号 JP19880261817 申请日期 1988.10.17
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAZAKI KOJI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;H01L29/43 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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