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经营范围
发明名称
INSPECTING APPARATUS OF IC
摘要
申请公布号
JPH02107979(A)
申请公布日期
1990.04.19
申请号
JP19880259592
申请日期
1988.10.17
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NAGAI KIYOHARU
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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