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发明名称
VERFAHREN ZUM UEBERFUEHREN EINES FESTSTOFFES IN DEN AMORPHEN ZUSTAND DURCH EINBRINGEN EINES EXOTISCHEN ATOMS MITTELS ELEKTRONENSTRAHLEN.
摘要
申请公布号
DE3576538(D1)
申请公布日期
1990.04.19
申请号
DE19853576538
申请日期
1985.09.19
申请人
OSAKA UNIVERSITY, OSAKA, JP
发明人
FUJITA, HIROSHI, IBARAKI CITY OSAKA-FU, JP;SUMIDA, NAOTO, SHIMAMOTO-CHO MISHIMA-GUN, OSAKA-FU, JP
分类号
B01J19/08;C22F1/00;C22F1/02;C23C8/10;C23C8/60;C23C10/28;C23C12/02;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/48;C23C16/48;C23C16/50;C23C26/00;H01L21/263;(IPC1-7):C23C10/28
主分类号
B01J19/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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