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发明名称
PLASMA VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH02105417(A)
申请公布日期
1990.04.18
申请号
JP19880258725
申请日期
1988.10.13
申请人
NEC CORP
发明人
NEGISHI KUNIAKI
分类号
C23C14/50;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;H01R4/66;H01R43/00
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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