Negative-working light-sensitive mixture comprising a polymeric compound with 1,2,3-thiadiazol groups and a light-sensitive recording material comprising said mixture.

摘要

Es wurde ein negativ arbeitendes, strahlungsempfindliches Gemisch beschrieben, das aus einem Bindemittel und einem 1,2,3-Thiadiazolgruppen enthaltenden Polymeren besteht. Als Bindemittel wird eine mehrfunktionelle Verbindung eingesetzt, deren funktionelle Gruppen mit Keten reagieren; als Polymeres wird eine Verbindung verwendet, die durch Polymerisation einer Verbindung der allgemeinen Formel I <IMAGE> entsteht, worin R eine polymerisierbare Gruppe bedeutet. Sofern das Polymere ein Copolymeres darstellt, worin als Comonomeres Verbindungen enthalten sind, die funktionelle Gruppen aufweisen, die mit Keten reagieren können, kann auf das Bindemittel verzichtet werden. Das beschriebene negativ arbeitende, strahlungsempfindliche Gemisch eignet sich besonders für UV-, Elektronen- und Röntgenstrahllithographie.